Оптикалық вакуумды қаптау машинасының қаптау технологиясы

2022-06-14

Оптикалық вакуумды жабу машиналары ұялы телефон камералары, ұялы телефон корпустары, ұялы телефон экрандары, түсті сүзгілер, көзілдірік линзалары және т.б. сияқты кеңінен қолданылады. Дәлдік стандарты өте жоғары және AR сияқты әртүрлі жабындарды жабуға болады. рефлексияға қарсы пленка, сәндік өнер Пластикалық пленкалар, моторлы керамикалық пленкалар, жақсартылған шағылыстыратын пленкалар, ITO өткізгіш пленкалар және ластанудан қорғайтын пленкалар нарықта жоғары сатылымға ие.

Оптикалық вакуумдық жабын машинасы көп қабатты жабу үшін қандай өңдеу технологиясын пайдаланады?

Оптикалық вакуумды қаптау машинасы ұшқанда және жинақталғанда, вакуум жүйесіндегі бастапқы шикізат қыздырылады немесе иондық сәуленің теріс электрондары ұшады. Бу оптикалық бетінде болуы мүмкін. Ұшқыштық кезеңінде қыздырудың нақты айла-шарғысына, вакуумдық сорғының жұмыс қысымына және субстраттың дәл орналасуына және айналуына сәйкес арнайы қалыңдығы бар біркелкі оптикалық жабын шығарылуы мүмкін. Ұшқыштың салыстырмалы түрде жұмсақ сипаттамалары бар, бұл жабынды барған сайын бос немесе кеуекті етеді. Мұндай борпылдақ жабын суды сіңіру қабілетіне ие, бұл пленканың ақылға қонымды сыну көрсеткішін өзгертеді, бұл сипаттамалардың төмендеуіне әкеледі. Ұшқыш жабындарды электронды сәуленің көмегімен тұндыру технологиясы арқылы жақсартуға болады, оның барысында электронды сәуле пластинаның бетіне бағытталған. Бұл бастапқы материалдың салыстырмалы оптикалық беткі қабатының адсорбциясын жақсартады, нәтижесінде жабынның жоғары тығыздығы мен беріктігіне ықпал ететін ішкі кернеудің үлкен мөлшері пайда болады.

Жоғары энергиялы электростатикалық өріс оптикалық вакуумдық қаптаманың электронды сәулесінің магнетрондық шашырауындағы (IBS) электронды сәулені жеделдете алады. Бұл лездік жылдамдықтар оң иондарда айтарлықтай механикалық энергияны тудырады. Бастапқы материалмен соқтығысқан кезде электронды сәуле «магнетронды» мақсатты материалдың молекулаларын шашыратады. Магнетронды шашыратқан мақсатты оң иондар (молекулалар гидролиз аймағы арқылы оң иондарға айналады) да механикалық энергияға ие, нәтижесінде оптикалық бетпен байланыста тығыз пленка пайда болады. IBS - дәл және қайталанатын әдіс.

Оптикалық вакуумдық қаптама Плазмалық магнетронды шашырату - жоғары сапалы плазмалық магнетронды шашырату және магнетронды шашырату сияқты бірқатар технологиялар үшін жалпы термин. Ол қандай технология болса да, плазманы жасауды қамтиды. Плазмадағы оң иондар бастапқы материалға жылдам түседі, бос энергетикалық оң иондармен соқтығысады, содан кейін жалпы мақсатты оптикалық компонентке магнетронды шашыратады. Плазмалық магнетронды шашыратудың әртүрлі түрлерінің бірегей сипаттамалары, артықшылықтары мен кемшіліктері болса да, біз бұл технологияны біріктіре аламыз, өйткені олардың принципі бірдей, олардың арасындағы айырмашылық, жабу технологиясының осы түрі мен қағазды салыстырыңыз. бір-бірінен әлдеқайда аз ерекшеленеді.

Ұшқыш тұндырудан айырмашылығы, молекулалық қабаттың тұндыруына (ALD) қолданылатын бастапқы материал сұйықтықтан ұшпайды, бірақ бірден бу түрінде болады. Процесс бу қолданылса да, вакуум жүйесінде қоршаған ортаның жоғары температурасы әлі де қажет. АЛД-ның бүкіл процесінде газ хроматографиясының прекурсоры аралық емес бір импульсқа сәйкес жеткізіледі, ал жалғыз импульс өздігінен шектеледі. Өңдеудің бұл түрі бірегей химиялық дизайн схемасына ие, әрбір жеке импульс тек бір қабатқа жабысады және оптикалық беттік қабаттың геометриясына арнайы талап жоқ. Сондықтан өңдеудің бұл түрі жабынның қалыңдығы мен дизайнын салыстырмалы түрде жоғары деңгейде бақылауға мүмкіндік береді, бірақ ол жинақтау жылдамдығын төмендетеді.